等離子清洗機(jī)也叫等離子清潔機(jī)，或者等離子表面處理儀，利用等離子體來(lái)達(dá)到常規(guī)清洗方法不能達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見(jiàn)的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
1.等離子清洗機(jī)真空泵熱過(guò)載保護(hù)，請(qǐng)檢查線(xiàn)路和真空泵故障
①如系統(tǒng)參數(shù)無(wú)變化，請(qǐng)確認(rèn)熱繼電器是否自動(dòng)保護(hù)，按復(fù)位鍵，然后啟動(dòng)真空發(fā)生系統(tǒng)。如沒(méi)有自動(dòng)保護(hù)，請(qǐng)檢查電氣線(xiàn)路有無(wú)斷路或短路情況。
②出現(xiàn)此情況請(qǐng)先觀(guān)察系統(tǒng)參數(shù)設(shè)置有無(wú)變化，突然斷電會(huì)引起系統(tǒng)參數(shù)歸零，導(dǎo)致設(shè)備出現(xiàn)此類(lèi)報(bào)警。
③檢查導(dǎo)線(xiàn)是否有斷路或短路情況。
④如無(wú)上述異常，請(qǐng)檢查真空泵。
2.等離子清洗機(jī)三相供電相序異常，請(qǐng)更換相序
①有相序保護(hù)繼電器，如出現(xiàn)此類(lèi)報(bào)警，請(qǐng)更換相序。
3.一路供氣壓力過(guò)低，請(qǐng)檢查氣體是否開(kāi)啟或氣體是否耗盡
4.二路供氣壓力過(guò)低，請(qǐng)檢查氣體是否開(kāi)啟或氣體是否耗盡
3及4是氣路控制系統(tǒng)報(bào)警，出現(xiàn)此報(bào)警請(qǐng)先檢查氣體是否打開(kāi)或耗盡。如氣體沒(méi)有問(wèn)題，請(qǐng)檢查設(shè)備減壓表、氣路電磁閥及流量計(jì)是否正常工作。檢查電氣線(xiàn)路是否出現(xiàn)斷路或短路。
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